5-assige gefreesde keramische isolatoren voor halfgeleiderapparatuur en cleanrooms

In de veeleisende wereld van halfgeleiderproductie en cleanroomomgevingen moet elk onderdeel feilloze prestaties leveren.PFT, wij zijn gespecialiseerd in het vervaardigen5-assige gefreesde keramische isolatorendie precisie en betrouwbaarheid opnieuw definiëren. Met meer dan 20Dankzij jarenlange expertise zijn onze oplossingen ontworpen om te voldoen aan de strenge eisen van halfgeleiderapparatuur. Ze garanderen thermische stabiliteit, elektrische isolatie en een verontreinigingsvrije werking in uiterst gevoelige omgevingen.

Waarom zou u voor onze 5-assig gefreesde keramische isolatoren kiezen?

1.Geavanceerde productiemogelijkheden

Onze faciliteit is uitgerust metstate-of-the-art 5-assige CNC-freesmachines, wat een nauwkeurigheid op micronniveau mogelijk maakt bij het vormen van geavanceerde keramiek zoals aluminiumoxide (Al₂O₃), siliciumcarbide (SiC) en aluminiumnitride (AlN). In tegenstelling tot conventionele methoden maakt 5-assige bewerking complexe geometrieën mogelijk – cruciaal voor componenten zoals waferliftpennen, onderdelen van depositiekamers en plasmabestendige isolatoren.

Belangrijkste kenmerken:

•Precisie:Tolerantie van ±0,005 mm voor naadloze integratie in ASML-lithografietools of Lam Research-etssystemen.
•Materiaalveelzijdigheid:Geoptimaliseerd voor 99,8% aluminiumoxide, SiC met een hoge zuiverheidsgraad en andere geavanceerde keramiek.
•Oppervlakteafwerking:Ra <0,2 μm om de deeltjesgeneratie in cleanrooms van ISO-klasse 1 te minimaliseren.

2.Eigendomsgerichte procestechniek

Onze ingenieurs hebben ontwikkeldgesloten-lus procescontrolesDie zich tijdens het bewerken aanpassen aan de brosheid van keramiek. Door droogfreestechnieken te combineren met realtime trillingsdemping, bereiken we scheurvrije oppervlakken en een langere levensduur van componenten, zelfs bij extreme temperatuurschommelingen (tot 1600 °C).

Innovatie in de schijnwerpers:

•Protocollen voor stressverlichting:Minimaliseer microbreuken in AlN-isolatoren voor CVD-toepassingen.
•Behandelingen na bewerking:HIP (Hot Isostatic Pressing) verbetert de dichtheid en corrosiebestendigheid.

3.Strenge kwaliteitsborging

Elke isolator ondergaat12-fase inspectie, inbegrepen:

•CMM (Coördinatenmeetmachine)validatie van kritische dimensies.
•Heliumlektestvoor vacuümcompatibiliteit.
•EDS (Energie-Dispersieve X-stralen Spectroscopie)om de zuiverheid van het materiaal te verifiëren.

OnsISO 9001/14001-gecertificeerd systeemzorgt voor traceerbaarheid van de inkoop van de grondstoffen (afkomstig van Tier 1-leveranciers zoals CoorsTek) tot de uiteindelijke verpakking.

Toepassingen: waar precisie en prestaties samenkomen

Onze isolatoren zijn betrouwbaar in:

•Ets- en depositiegereedschappen:SiC-gecoate componenten voor plasmaweerstand in Applied Materials™-modules.
•Ionenimplantaten:Alumina-liftpennen met antistatische coatings om wegglijden van de wafer te voorkomen.
•Metrologiesystemen:Isolatoren met lage thermische uitzetting voor EUV-lithografietafels.

Casestudy:Een toonaangevende OEM van halfgeleiders wist de stilstandtijd van gereedschappen met 40% te verminderen na de overstap naar onze speciaal ontworpen SiC-douchekoppen. Deze presteerden beter dan de onderdelen van concurrenten bij de verwerking van 300mm-wafers.

Verder dan productie: een partnerschapsbenadering

•Snel prototypen:Dien uw CAD-bestanden in en ontvang binnen 7 dagen functionele prototypes.
•Verpakking in cleanrooms op locatie:Optionele klasse 10 cleanroom-assemblage voor directe gereedschapsintegratie.
•Levenslange technische ondersteuning:Onze technici bieden slijtageanalyses en herbewerkingsdiensten om de levenscyclus van componenten te verlengen.